激光专用机在非晶硅太阳能电池制备中的应用

【摘要】：本文详细讨论了大面积实用型非晶硅太阳能电池制备中激光刻蚀专用机的作用及对该机的技术要求.研究结果表明,采用10瓦YAG激光器并配以微机控制的x-y大型载物台,可用于20cm×20cm非晶硅太阳能电池的研究,已制出10cm×10cm转换效率可达8.55%的电池. 【作者单位】： 南开大学电子科学系 南开大学电子科学系 南开大学电子科学系 天津激光技术研究所
【关键词】： 非晶硅太阳能电池 专用机 激光器 激光束直径 微机控制 转换效率 集成电池 制备 激光刻蚀 单元电池
【正文快照】： 一、引言 随着常规能量消耗量的剧增及其对环境污染的日益严重,急切需要开发新型清洁能源.而在诸多竞争者中,低成本非晶硅(a一si)太阳能电池被认为是最有希望的候选者. 从实用角度,一般消费性电子产品的电源常希望是高压小电流,单结a一si电池的开路电压吸通常在800一900mv范围

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