甲烷浓度对大面积金刚石膜生长的影响

【摘要】：采用电子辅助热灯丝化学气相沉积(EA.CVD)方法沉积大面积金刚石膜,在金刚石膜的沉积过程中,碳源浓度的变化会直接影响着金刚石膜的生长和质量。使用Raman,SEM等手段对金刚石膜的生长特性进行了表征。 【作者单位】： 长春大学理学院 长春大学特殊教育学院 长春大学理学院
【关键词】： 金刚石膜 甲烷浓度 膜的质量
【基金】：863项目(2002AA325090)
【分类号】：O484.1
【正文快照】： 0引言由于金刚石特殊的晶体结构,就使金刚石具有许多优异的性能。金刚石高硬度、高的弹性模量、低的摩擦系数、有高的热导率和高的室温电阻率、极好的绝缘性能和化学稳定性、很高的电子和空穴迁移率,并在很宽的光波段范围内透明。与Ge,Si,GaAs等半导体相比,它又有较宽的禁带

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