对超低浓度甲烷具有高气敏性的自组装型SnO_2纳米棒气敏传感器

【摘要】：通过热蒸发SnO2和活性炭的混合粉末的自组装方式直接在Cr-Au梳状交叉电极上制备了一层SnO2纳米棒气敏层,从而研制出了SnO2纳米棒气敏传感器,经测试,发现此传感器对于浓度范围为2～5ppm的甲烷具有非常好的探测灵敏度,继而从气敏机制、自组装制备方式、SnO2纳米棒的比表面特性及SnO2纳米棒的尺度低于得拜长度等角度解释了此传感器对甲烷具有高气敏性的原因。 【作者单位】： 深圳大学电子科学与技术学院深圳市微纳光子信息技术重点实验室;
【关键词】： 气敏传感器 纳米材料 气敏特性
【基金】：深圳市微纳光子信息技术重点实验室开放基金资助项目(编号:2000811)
【分类号】：TP212.2
【正文快照】： 一、前言在专门用来检测微型信息的气敏传感器中,其工作机制是由于曝露于不同气体中而引起电子传导从而产生氧化或还原反应。而由于这些反应依靠材料表面层所存在的活动中心或缺陷,那么提高器件对微弱信息的捕获程度即微型灵敏度很大程度上靠传感层材料的比表面特性来决定[1]

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