甲烷浓度对MPCVD金刚石膜色度的影响

【摘要】：运用自行设计的直接耦合石英管微波等离子体化学气相沉积(microwave plasmachemical vapor deposition,MPCVD)装置,以氢气和甲烷为反应气体,沉积出八个金刚石膜样品。研究了甲烷浓度对所沉积金刚石膜色度的影响。结果显示随着甲烷浓度的升高,饱和纯度和色纯度逐渐升高,甲烷浓度达到5.863%时,饱和纯度和色度纯度达到最大,分别为8.5%和9.5%,之后随着CH_4浓度的升高饱和纯度和色纯度开始下降。 【作者单位】： 广州大学物理与电子工程学院;
【关键词】： 色度学 金刚石膜 饱和纯度 色度纯度
【基金】：广州市属高校科技计划资助项目(62003)
【分类号】：O432.3
【正文快照】： 1引言化学气相沉积(chemieal vapor deposition，CVI〕)金刚石膜具有许多优异的力学、电学、热学、声学和光学等性质，可与天然的金刚石膜相媲美仁’，2〕，在高技术领域，具有十分广阔的应用前景仁3一5〕。因此，引起国内外学者的广泛兴趣，成为目前国内外的研究热点之一，

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