应用于甲烷气体检测的闪耀光栅设计与研究

【摘要】：针对CH4气体浓度检测,设计、计算了应用于CH4气体浓度检测的微闪耀光栅的结构,并给出了相关参数。通过PCGrate软件模拟了光栅的衍射效率,证明所设计微闪耀光栅能够满足CH4检测所需的1.331μm波长的分光要求。在此基础上设计了基于闪耀光栅分光原理的简明分光装置,并对各分光元件装置进行分析,分析结果表明:微分光闪耀光栅可应用矿井、汽车尾气排放检测等领域的多种气体浓度检测,并实现甲烷气体浓度的较高灵敏度测量。 【作者单位】： 西安邮电学院信息中心;
【关键词】： 微闪耀光栅 甲烷检测 衍射效率
【分类号】：O436.1
【正文快照】： 近年来MEMS技术的发展,使得基于硅微加工的光栅、闪耀光栅、微集成光学、平面微分光等典型微光学器件成为可能。这些微分光器件可以完成分光、滤光等功能,因此可以在红外吸收法精确测量气体浓度方面得到广泛应用。由于闪耀光栅具有零级分光的特性[1],使得它的应用研究成为人

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