四氟甲烷等离子体对赝复硅橡胶吸水率、溶解率影响
四氟甲烷等离子体对赝复硅橡胶吸水率、溶解率影响【摘要】:目的:观察四氟甲烷(CF4)低温等离子体对两种赝复硅橡胶吸水率、溶解率的影响。方法:将固化好的硅橡胶试样分组,按照不同工作参
【关键词】: 四氟甲烷(CF)等离子体 硅橡胶 吸水率 溶解率
【分类号】:R783.1
【正文快照】: 在低温等离子体工作气体中,四氟甲烷(CF4)是一种反应性气体。多数有机类反应性气体的等离子体可以观察到等离子体聚合反应。但是CF4有其特殊性:在CF4的等离子体聚合中几乎不生成聚合膜,主要是基材的蚀刻。它是通过等离子体化而不发生聚合的少数有机物之一,可作为有效的等离子
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