1nm/s高速率微晶硅薄膜的制备及其在太阳能电池中的应用

【摘要】：采用甚高频等离子体增强化学气相沉积技术,在相对较高气压和较高功率条件下,制备了不同硅烷浓度的微晶硅材料.材料沉积速率随硅烷浓度的增加而增大,通过对材料的电学特性和结构特性的分析得知:获得了沉积速率超过1nm/s高速率器件质量级微晶硅薄膜,并且也初步获得了效率达6.3%的高沉积速率微晶硅太阳电池. 【作者单位】： 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室
【关键词】： 甚高频等离子体增强化学气相沉积 微晶硅薄膜太阳电池 高沉积速率
【基金】：国家重点基础研究发展规划(批准号:2006CB202600) 国家自然科学基金(批准号:60506003) 天津市自然科学基金(批准号:05YFJMJC01600) 中国-希腊政府间合作基金和新世纪优秀人才计划资助项目~~
【分类号】：TM914.4
【正文快照】： 1引言氢化微晶硅薄膜和微晶硅太阳电池已经成为硅薄膜太阳电池的研究热点[1～3].因为微晶硅薄膜太阳电池的制备技术与现有的非晶硅薄膜和电池的制备技术兼容,而且微晶硅薄膜太阳电池几乎不存在光致衰退效应(S WE)[4].另外,微晶硅薄膜太阳电池和非晶硅薄膜太阳电池组成叠层电

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