基于MEMS可编程光栅检测甲烷的研究

【摘要】：介绍了基于微电子机械系统(MEMS)技术的微型可编程光栅的光学特性。分析了可通过对可编程光栅编程状态的预先设定,使其衍射输出对应于不同目标物质的光谱。提出了一种全新的基于微型可编程光栅的相关光谱法检测甲烷的方法。实验表明,该方法不仅可对多种气体成分进行检测,而且有很高检测精度,并具备传统检测方法无法比拟的优点。 【作者单位】： 辽宁工程技术大学电气与控制工程学院;
【关键词】： MEMS 可编程光栅 模拟光谱 相关光谱 甲烷
【基金】：辽宁省高校创新团队项目(2007T074)
【分类号】：TP274
【正文快照】： 0引言甲烷作为重要的易燃易爆气体,是许多工矿企业产生或消耗气体混合物的主要成分[1],对它实现全光学可靠遥测和监控有重要意义。目前,基于光学和光谱学的气体监测技术(代表技术有差分吸收光谱技术[2]和相关光谱技术[3]),因其具有不易受干扰、灵敏度高、响应速度快等特性而

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