太阳能硅片双束激光划槽方法与装置

【摘要】：本文提出一种太阳能硅片双束激光划槽方法和装置,它利用Z型谐振腔的Nd:YAG激光器,声光Q开关调制,经直角棱镜发射双束激光,扩束聚焦输出到太阳能硅片表面,划槽最小线宽:20μm,最大划片速度:120mm/s、使生产率提高100%,节约能源30%。 【作者单位】： 河北工业大学机械学院;无锡浩波光电子有限公司技术部;天津大学激光与光电子研究所;
【关键词】： Z型谐振腔 双束激光 太阳能硅芯片
【基金】：科技型中小企业技术创新基金无偿资助项目,立项代码:07C26223200378 江苏省高技术研究(工业部分),项目编号:BG2007007
【分类号】：TN249
【正文快照】： 太阳能是当今最为光明的新兴产业,目前存在的问题之一是太阳能硅片划槽加工的产能已跟不上销售的提高。目前国内外流行的都是单束激光的划片机。1单束激光划片机电机、11为Y方向步进电机)。如图1所示,(其中:1为激光器箱体、2为平面反射镜、3为声光Q开关、4为泵浦组件及Nd:YAG

您可以在本站搜索以下学术论文文献来了解更多相关内容

波长1319nm连续Nd:YAG激光器的研究    王涛,姚建铨,李喜福,王鹏,于意仲,王志勇,禹国俊,郭丽

准连续660nm Nd:YAG内腔倍频激光器的研究    王涛,姚建铨,李喜福,王志勇,陈进,张百钢,王鹏

Nd:YAG激光器多波长输出技术与应用研究    王涛,姚建铨

波长1319nm连续Nd:YAG激光器的研究    王涛,姚建铨,李喜福,王鹏,于意仲,王志勇,禹国俊,郭丽

LD抽运高功率连续1319nm Nd:YAG激光器的研究    李君,于意仲,姚建铨,温午麒,丁欣,周建勇,王涛,王鹏

8.1W全固态准连续红光Nd∶YAG激光器    温午麒,姚建铨,丁欣,周建勇,李君,魏权夫,徐德刚,周睿,张强,于意仲,王鹏

固体RGB激光光源及其在显示技术方面的应用研究    王志勇

高功率全固态Nd:YAG/KTP红光激光器的研究    李君

高功率全固态Nd：YAG/KTP红光激光器的研究    李君

基于周期极化铌酸锂和钽酸锂的准相位匹配技术研究    路洋

高功率全固态Nd:YAG/KTP红光激光器的研究    周佳凝

LD侧面泵浦的全固态Nd：YAG/KTP连续红光激光器研究    徐海燕

多波长电光调Q Nd：YAG脉冲激光器的研究    乔亮

激光大屏幕投影仪控制器设计    任爱芝

激光扫描演示系统的构建与软件研究    蔡彬晶

1444nm波长Nd：YAG脉冲激光器研究与设计    刘丰满

几种典型大功率激光的功率密度分布及其应用    李强,雷訇,左铁钏

准连续660nm Nd:YAG内腔倍频激光器的研究    王涛,姚建铨,李喜福,王志勇,陈进,张百钢,王鹏

太阳能硅片双束激光划槽方法与装置    王涛;李玉翔;张福军;姚建铨;刘晓雯;李福增;朱超男;

太阳能硅晶片双束激光双线划槽方法与装置    张福军