φ200mm太阳能电池用直拉硅单晶生长中导流系统的研究

【摘要】：利用数值模拟,对CZ硅单晶生长系统中导流系统调整和改进,得到不同导流系统下的氩气流场和全局温场.研究发现在导流系统中引入导流筒及冷却功能后,氩气流场得到明显的改善,晶体中纵向温度梯度均匀性改善,固液界面趋于平坦,有利于结晶潜热的散发和单晶径向电阻率的均匀性.研究表明改进导流系统能提高结晶潜热散发速率,有利于提高晶体拉速. 【作者单位】： 河北工业大学材料学院;
【关键词】： 数值模拟 直拉硅单晶 结晶潜热 导流筒
【基金】：国家自然科学基金资助项目(批准号:60576002)~~
【分类号】：TM914.4
【正文快照】： 1引言21世纪,能源危机成为举世瞩目的话题,全球化石燃料将出现生产和消耗的峰值,人类必须在此之前找到新的替代能源[1].在此背景下,世界光伏市场发展迅猛.作为光伏行业的主导产品,晶体硅太阳能电池占据了市场份额的90%,其中单晶硅太阳电池的转化效率较高,但其生产成本也高[2]

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