新型的晶体硅太阳能电池制绒系统

北京中联科利公司推出一套新型的晶体硅太阳能电池绒面制备系统，帮助国内客户解决在大规模生产中单/多晶太阳能电池片并线生产的问题。　　在前几年，国内的许多太阳能电池片生产线普遍是以单晶硅电池片的生产为主。而随着太阳能级硅片价格的逐年攀高，造成硅片供求紧张，今年国内太阳能电池片企业逐渐扩建硅片成本低的多晶硅电池片生产线，同时生产单晶硅电池和多晶硅电池两种产品。太阳能客户希望两种产品能够实现并线生产。

单晶硅电池片和多晶硅电池片在制造过程中主要的不同之处在于绒面制备方面，单晶硅电池片使用碱制绒，多晶硅电池片利用酸制绒。目前市面上只有分别对应两种制绒工艺的单一设备，无法满足客户单/多晶并线的要求，中联科利充分利用其丰富的半导体清洗设备制造经验，推出经过验证的新型单/多晶硅整合绒面制备系统，为客户解决了困扰多时的难题。这种新型的整合系统可以制出高质量的减反射绒面，控温稳定，制绒工艺的重复性高，同时可以降低客户的设备投资。 关键词：新型晶体硅太阳能电池制绒系统。

硅系列太阳能电池中，单晶硅太阳能电池转换效率最高， 晶体硅太阳能电池技术也最为成熟。高性能单晶硅电池是建立在高质量单晶硅材料和相关的成热的加工处理工艺基础上的。现在单晶硅的电池工艺己近成熟，在电池制作中，一般都采用表面织构化、发射区钝化、分区掺杂等技术，开发的电池主要有平面单晶硅电池和刻槽埋栅电极单晶硅电池。提高转化效率主要是靠单晶硅表面微结构处理和分区掺杂工艺。

在此方面，德国夫朗霍费费莱堡太阳能系统研究所保持着世界领先水平。该研究所采用光刻照相技术将电池表面织构化，制成倒金字塔结构。并在表面把一13nm。厚的氧化物钝化层与两层减反射涂层相结合．通过改进了的电镀过程增加栅极的宽度和高度的比率：通过以上制得的电池转化效率超过23%，最大值可达23．3%。Kyocera公司制备的大面积（225cm2）单电晶太阳能电池转换效率为19．44%，国内北京太阳能研究所也积极进行高效晶体硅太阳能电池的研究和开发，研制的平面高效单晶硅电池（2cm X 2cm）转换效率达到19.79%，刻槽埋栅电极晶体硅电池（5cm X 5cm）转换效率达8.6%。
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