中国离子注入机行业发展前景预测 本土企业发展潜力巨大

目前市场上常用的生产型离子注入机主要包括低能大束流离子注入机、高能离子注入机和中低束流离子注入机这三种，其中低能大束流离子注入机应用范围较广。

离子注入机是半导体晶圆制造等领域的关键设备之一。在半导体晶圆制造中，由于纯净硅的导电性能很差，需要加入少量杂质使其结构和电导率发生改变，从而变成一种有用的半导体，这个过程称为掺杂。目前掺杂主要有高温热扩散法和离子注入法两种，其中离子注入法应用较为广泛，市场对离子注入机的使用需求也在逐渐扩大。

目前市场上常用的生产型离子注入机主要包括低能大束流离子注入机、高能离子注入机和中低束流离子注入机这三种，其中低能大束流离子注入机应用范围较广。离子注入机主要应用于集成电路与IGBT制造、太阳能电池生产、AMOLED面板制造等多个领域。近年来，我国政府先后出台了《国家集成电路产业发展推进纲要》、《鼓励集成电路产业发展企业所得税政策》等相关利好政策，从税收、资金等多个方面为国内半导体产业给予扶持，这也在一定程度上促进了我国离子注入机市场的持续发展。

根据新思界产业研究中心发布的《2020－2025年中国离子注入机行业市场深度调研及发展前景预测报告》显示，离子注入机作为半导体晶圆制造等领域的关键设备之一，其市场发展与晶圆加工设备行业发展态势息息相关。2019年，全球晶圆加工设备市场规模增长至650亿美元以上，较上一年增长近30个百分点。其中离子注入机占晶圆加工设备的比重约为5％，因此在2019年，全球离子注入机市场规模将近达到20亿美元。而就中国的情况来看，由于国家对半导体晶圆制造产业的高度重视，我国离子注入机市场发展逐渐加快，在2019年市场规模已经增长至4．0亿美元，预计发展到2020年将达到5．5亿美元以上，未来市场潜力也是相当巨大。

从市场格局来看，目前在全球离子注入机市场，美国和日本的部分先进企业占据着主导地位，主要有日本住友、日新公司、日本真空，VARIAN（瓦里安）、SEN和Invetac等，在市场上有着极强的竞争力。而在中国市场，由于市场起步较晚，技术水平与国外先进企业相比仍有着巨大差距，目前我国具有代表性的本土企业主要有凯世通和北京中科信电子装备这两家，未来本土企业发展空间仍然巨大。

新思界行业分析人士表示，近年来，我国政府对半导体晶圆制造产业高度重视，而离子注入机作为半导体晶圆制造等领域的关键设备之一，其市场发展潜力也相当巨大。就目前来看，由于我国离子注入机市场起步较晚，导致国内相关生产制造技术水平不高，未来本土企业发展空间巨大。